本週到台積電演講，主辦單位很用心，致贈一片台積電晶圓wafer，這是我收過最特別的演講贈品了。這是世界第一片.13銅製程晶圓，很有意義的禮物。
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“銅製程逆襲終結了IBM的技術霸權：2003年，IBM希望把新開發的銅製程工藝賣給台積電，但張忠謀認為IBM技術不成熟，不如自己幹。率隊研發的是蔣尚義，充分發揮在德州儀器學到的工藝管理經驗：為防止材料污染，研發人員連行走都要求嚴格按照地板上畫好的路線。一年多後，台積電銅製程率先突破，發揮核心作用的是6個人：余振華、梁孟松、孫元成、蔣尚義、楊光磊、林本堅。而IBM的技術卻仍未走出實驗室，IBM的代工技術霸權被終結了。
而曝光機突破，則不僅為台積電帶來了技術超越，也培養了堅實的設備盟友：2004年，台積電打算另辟蹊徑，研發濕法光刻技術，而技術發起人林本堅也來自於IBM。這項技術和當時的方案背道而馳，林本堅還被吐槽是「擋在航空母艦面前」。而方案也遭到了當時「曝光機霸主」日本尼康（Nikon）和佳能（Canon）的抵制，只有荷蘭小廠艾司摩爾（ASML）願意嘗試。最終，台積電完成了技術突破，艾司摩爾也迅速崛起，擊垮日本霸主成為行業巨頭，和台積電結下了深厚的戰友情。”
https://www.stockfeel.com.tw/%E6%AD%B7%E5%8F%B2%E6%BD%AE%E9%A0%AD%E4%B8%8A%E7%9A%84%E5%8F%B0%E7%A9%8D%E9%9B%BB%EF%BC%9A%E5%85%A9%E5%A0%B5%E9%AB%98%E5%A2%BB%EF%BC%8C%E4%B8%80%E6%9F%84%E5%B0%96%E5%88%80/?fbclid=IwAR0hjJnjlPNQutOhlhkAJwTLwWLKcnMVY66yxOoYRtLgwWMqcAMsOs8oQpk
林本堅 演講 在 [新聞] 清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV - 看板Stock 的美食出口停車場
原文標題：
清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV量產很久了，技術彎道超車Intel
原文連結：
https://www.investor.com.tw/onlineNews/NewsContent.asp?articleNo=14202112270101
發布時間：
2021年12月27日 週一 下午3:21
原文內容：
記者李純君報導】前台積電研發副總，也是清大半導體研究學院院長林本堅，今日回憶，
各國際大廠在先進晶圓代工製程領域，先前的EUV聯盟，台積電沒辦法參加，改用浸潤式
（Immersion）微影技術；而發展至今，台積電已經量產EUV很久了，技術上彎道超車英特
爾。 林本堅今日出席清華大學半導體研究學院揭牌儀式，在受訪時回憶，英特爾2002年
，號召業界成立EUV LCC聯盟，包括摩托羅拉、AMD等大廠都在裡面，當時目標包括，開發
出的設備能夠優先被使用到40奈米與60奈米，這個聯盟當初設定為六家廠商，最後一個名
額被IBM搶走了。
他進一步提到，當時因為名額滿了，台積電不能參加EUV LCC聯盟，就自己想辦法，在先
進製程的開發上，先採Immersion技術，也因此，台積電其實直到近年的5奈米，才採用
EUV機台設備。
但以結果論來看，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾之外，其他5家並沒有再持
續了，而且現階段，台積電以EUV設備為主的5奈米製程已經量產很久了，領先全球半導體
廠商，但英特爾卻尚未進入EUV量產，此外，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾
之外，其他5家並沒有再持續了，以結果來看，台積電反而是領先的。
林本堅也補充，從採用微影技術，讓製程推進、晶片縮小觀點，半導體應用範圍越來越廣
，量也很大，實際上，要如何以最低的成本達到最高的效果，才是挑戰。他更提到，不一
定從EUV技術去做製程微縮著手，因為用EUV的成本很貴，划不來，但也不代表半導體技術
不需要微影，思考重點是，若有別的辦法縮小尺寸且更能降低成本，就用別的辦法。
心得/評論：
看起來林本堅大老 還是很不看好EUV
但是 GG目前也是用EUV來做
難道gg又可以開大 用duv去做?
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p幣永恆好
只是沒多少
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